技术规格：
测量规范：0.1-0.006
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（相当于测量表面不平度深度范围为0.1-0.03um）
工作距离：0.5mm
仪器的视场：目视 ф0.25mm
照相 0.21×0.15mm
仪器的放大倍数：目视500倍 照相168倍
测微目镜放大倍数：12.5倍
测微分度值：0.01mm
绿色干涉滤色片波长 λ≈530nm
半宽度 λ≈10nm干涉显微镜用途：本仪器是用来测量加工零件（平面、圆柱等外表面）粗糙度的仪器，也可以用来测量零件表面刻线镀层等深度。配上TV系统，使观察更加清晰直观。