技术规格：
测量范围：12.5-0.2
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（相当不平度≈0.8-80um）
不平宽度：用测微目镜 0.7um-2.5mm
用坐标工作台 0.01-13mm
坐标工作台：X：13mm Y：13mm
最小分度值 0.01mm
总放大倍数：60X 120X 260X 510X
摄影装置放大倍数：≈6X光切法显微镜用途：本仪器是以光切法测量零件加工表面的微观不平度，其能判别12.5-0.2级表面粗糙度，不破坏工件表面，测出截面轮廊的微观的不平深度和沟槽宽度的实际尺寸。配上TV系统，使观察更加清晰直观。