技术规格：
1.测量表面光洁度范围（表面粗糙度）：▽10～▽14
2.工作物镜的数值孔径：0.65
3.工作距离：0.5毫米
4.仪器的视场：
目视：φ0.25毫米
照相：0.21×0.15毫米
5.仪器的放大倍数：
目视：500倍
照相：168倍
6.测微目镜放大倍数：12.5倍
7.工作台升程：5毫米
8.X、Y方向移动范围：≈10毫米
9.旋转运动范围：360°干涉显微镜用途：本仪器是用来测量精密加工零件（平面、圆柱等外表面）光洁度的仪器，也可以用来测量零件表面刻线，镀层等深度。仪器配对各种附件，还能测量粒状，加工纹路混乱的表面，低反射率的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。仪器测量表面不平深度范围为1～0.03微米，用测微目镜和照相方法来评定▽10～▽14光洁度的表面。 本仪器适用于厂矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校，科学研究等单位。